Gasboard-3052 미량 산소 가스 분석기
반도체 공정가스 분석기

Gasboard-3052

미량 산소 가스 분석기

모델명
Gasboard-3052
제품 분류
가스 분석기 › 반도체 공정가스 분석기

측정항목: O2

적용 산업반도체

제품 개요

Gasboard-3052는 산업 공정에서 ppm 수준의 미량 산소를 고정밀로 측정하는 미량 산소 분석기입니다. 지르코니아 기술 기반으로 응답이 빠르고 장기 안정성이 우수하며, 정기 교정이 필요 없고 유지보수 부담이 적습니다.

반도체 제조, 공기 분리, 불활성가스 용접 등 중요한 산업 공정에서 산소를 정밀하게 모니터링하고 제어하는 데 널리 사용됩니다.

소형 모듈식 설계로 복잡한 공정 환경에도 설치가 쉽고, 농도 표시·교정·릴레이 알람 기능을 갖춘 직관적인 화면을 제공합니다. 4~20mA, 0~1/0~5/0~10VDC 아날로그 출력을 지원하며 RS232로 장비 정보를 조회할 수 있습니다.

주요 특징

  • 지르코니아 기술로 ppm 수준 산소를 고정밀 측정
  • 장기 안정성이 우수해 정기 교정 불필요
  • 다른 가스의 간섭이 적은 강한 간섭 억제 성능
  • 설치가 쉬운 소형 모듈식 설계
  • 정보를 알기 쉽게 표시하는 사용자 친화적 화면

측정항목

항목측정범위
O20~100 ppm / 0~1000 ppm / 자동

제품 사양

측정 성분O2
측정범위0-100ppm, 0-1000ppm, 자동
정확도2%F.S
분해능0.1ppm
응답시간≤10s
예열 시간5min
갱신 주기1Hz
동작 온도(0~50) ℃
상대습도0–95% RH (결로 없음)
동작 전압176-264VAC 또는 12VDC
소비전력< 15W
아날로그 전류 출력4–20 mA (최대 load 500 Ω)
아날로그 전압 출력0-1, 0-5, 0-10VDC
경보 출력2 alarms, 1 fault alarm
통신RS232
가스 연결부KF25
무게1.5kg
크기Split-type design: probe + analyzer / Analyzer (L×W×H): 178 × 105.5 × 95.2 mm / Probe (D×L): 40 × 64.5 mm

적용 분야

  • 반도체 제조
  • 공기 분리
  • 불활성가스 용접