반도체 공정가스 분석기
Gasboard-2061
NDIR WF₆ 가스 센서
- 모델명
- Gasboard-2061
- 제품 분류
- 가스 분석기 › 반도체 공정가스 분석기
측정항목: WF6
적용 산업반도체
측정 원리NDIR(비분산 적외선)
제품 개요
Gasboard-2061은 텅스텐 CVD(WCVD) 증착 챔버의 세정 종료점(EPD)을 실시간으로 판단하기 위한 고성능 WF6 가스 센서입니다. 비분산 적외선(NDIR) 기술로 복잡한 공정 조건에서도 WF6 농도를 높은 감도와 정확도로 측정합니다.
WF6 농도 변화를 실시간으로 추적해 정확한 시점에 세정 종료를 알려 주므로, 세정 시간과 과세정에 따른 가스 소모를 줄이고 챔버 마모를 줄여 주요 부품 수명을 늘릴 수 있습니다.
소형 모듈식 구조로 설치가 쉽고, 진공 환경에서도 안정적인 밀봉 설계와 316L 내식성 구조를 갖추었으며, 아날로그·디지털 인터페이스를 지원합니다.
주요 특징
- NDIR 기술로 WF6를 높은 감도와 정확도로 측정
- 빠른 응답으로 농도 변화를 실시간 추적
- 낮은 영점 드리프트와 높은 반복성
- 진공 환경에서 안정적으로 동작하는 견고한 밀봉 설계
- 가혹한 공정 조건에 견디는 316L 내식성 구조
- 연동과 유지보수가 편리한 아날로그·디지털 통신 인터페이스
측정항목
| 항목 | 측정범위 |
|---|---|
| WF6 | 0~200 mTorr |
제품 사양
| 측정 성분 | WF6 |
|---|---|
| 측정범위 | 0-200 mTorr |
| 반복성 | ±0.5% |
| 정확도 | ±1%F.S. |
| 동작 전압 | 24VDC |
| 동작 전류 | 1.5A (max) |
| 아날로그 인터페이스 | Analog Output: 0–5 VDC (4 ch) 또는 4–20 mA (4 ch) / Analog Input: 0–10 VDC (1 ch) |
| 디지털 인터페이스 | Digital Output: 4 ch / Digital Input: 1 ch |
| 통신 | RS485 |
| 샘플링 포트 | NW25 |
| 누설률 | ≤1 x 10-6 Pa·m3/s (He) |
| 주변 동작 온도 | (20～35) ℃ |
적용 분야
- 텅스텐 CVD(WCVD) 챔버 세정 종료점 검출
