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반도체 공정가스 분석기

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반도체 공정가스 분석기

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공기질 측정기13
입자 계수기8
가스 분석기93
가스 검지·경보기41
연속 모니터링 시스템3
유량·압력·공정 계측기26

산업 분야

반도체 10
클린룸·제약 10
환경·대기질 12
배출가스 관리 31
자동차 19
산업 공정 44
실내공기질(학교·공공시설) 22
에너지·바이오가스 34
전력설비 9
건물·HVAC 34
2차전지 제조 4

측정 목적

규제 대응 측정 24
연속 감시 65
현장 점검 31
안전 경보 35
공정 제어 24
연구·시험 7
장비 내장(OEM) 62

측정 대상

미세먼지(PM) 27
입자 개수 13
CO₂ 77
CO 54
O₂ 55
NOx (NO·NO₂) 30
SO₂ 22
CH₄ (메탄) 56
H₂ (수소) 21
H₂S (황화수소) 24
NH₃ (암모니아) 7
N₂O 8
탄화수소(HC) 22
포름알데히드(HCHO) 8
VOC·TVOC 14
O₃ (오존) 5
SF₆ 5
냉매 가스 10
수분·이슬점 8
온습도 12
유량 15
열량·워베 지수 10
HCl·HF 4

측정 원리

광산란 26
NDIR(비분산 적외선) 49
전기화학식 9
UV-DOAS 12
NDUV 3
TDLAS(레이저 흡수분광) 12
레이저 라만 3
초음파 8
GFC(가스 필터 상관) 1
QCL(양자 캐스케이드 레이저) 1

필터 초기화

1개 제품

기본 순서 모델명순 제품명순

반도체 공정가스 분석기

미량 산소 가스 분석기

측정항목: O2

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