변전설비 가스 분석기
KPA-200
휴대형 CF₄ 및 HF 가스 측정기
- 모델명
- KPA-200
- 제조사
- SENSORONIC
- 제품 분류
- 가스 분석기 › 변전설비 가스 분석기
측정항목: CF4, HF
적용 산업전력설비
제품 개요
KPA-200은 사불화탄소(CF₄)와 불화수소(HF)의 농도를 측정하는 휴대형 복합가스 측정기입니다. CF₄는 최대 1,000ppm, HF는 최대 10ppm까지 측정하며, 가스 유량과 외부 압력도 함께 측정합니다.
5초 이내의 응답속도(T90), 5인치 TFT 컬러 터치스크린(800×480), 16GB SSD 저장장치, USB 데이터 인터페이스, 24컬럼 열전사 프린터를 갖추었습니다.
반도체 식각 공정, 디스플레이·전자부품 제조시설, 불소계 가스를 사용하는 산업 공정과 가스 처리설비의 농도 측정 및 점검에 사용됩니다.
주요 특징
- CF₄ 및 HF 가스 농도 측정
- 고정밀 센서를 이용한 가스 분석
- CF₄ 최대 1,000ppm 측정
- HF 최대 10ppm 측정
- 가스 유량 및 외부압력 측정 기능
- 5인치 TFT 컬러 LCD 디스플레이
- 800×480 해상도의 터치스크린
- 5초 이내의 빠른 응답속도(T90)
- 16GB SSD 데이터 저장장치
- USB 데이터 인터페이스 지원
- 24컬럼 열전사 프린터 내장
- 측정 결과 실시간 출력 및 기록
- 퀵 커플링 방식의 간편한 가스 연결
- 충전식 리튬이온 배터리 적용
- 휴대가 편리한 견고한 산업용 케이스
측정항목
| 항목 | 측정범위 |
|---|---|
| CF₄ | 0~1,000ppm |
| HF | 0~10ppm |
| 유량 | 0~2,000sccm |
측정 성능
| 항목 | 측정방식 · 정확도 · 분해능 |
|---|---|
| CF₄ | 측정방식: Polymer (원본 표기) · 정확도: ±2℃ (원본 표기) · 분해능: 1ppm |
| HF | 측정방식: ECD · 정확도: ±5%FS · 분해능: 0.1ppm |
| 유량 | 측정방식: Thermal Mass · 정확도: ±2%FS · 분해능: 1sccm |
제품 사양
| 제조사 | 센서로닉(SENSORONIC) |
|---|---|
| 측정항목 | CF₄, HF |
| CF₄ 측정범위 | 0~1,000ppm |
| HF 측정범위 | 0~10ppm |
| HF 측정방식 | ECD |
| 유량 측정방식 | Thermal Mass |
| 디스플레이 | 5인치 TFT 컬러 LCD |
| 화면 해상도 | 800×480 Pixels |
| 터치스크린 | 지원 |
| 응답속도(T90) | 5초 이내 |
| 저장장치 | 16GB SSD |
| 데이터 인터페이스 | USB |
| 가스 연결방식 | Quick Coupling with 2m Flexible Tube |
| 샘플 유량 | 500cc/min |
| 프린터 | 24-Column Thermal Printer |
| 측정 결과 출력 | 내장형 열전사 프린터 |
| 공급 전원 | 리튬이온 충전식 배터리 12V / 7.8Ah |
| 규격 | 300×200×190 mm (W×H×D) |
| 중량 | 3.5kg |
적용 분야
- 반도체 제조공정 CF₄ 및 HF 가스 농도 측정
- 디스플레이 제조시설 가스 모니터링
- 불소계 가스 사용 산업공정 농도 분석
- 가스 정화 및 처리설비 성능 점검
- 연구소 및 시험기관 CF₄·HF 가스 분석
- 반도체 식각공정 공정가스 분석
- 전자부품 제조시설 가스 모니터링
- 산업용 가스 처리 및 배출시설 가스 성분 측정
- 산업용 가스 배관 및 공급설비 상태 점검
- 산업설비 유지보수 및 현장 가스 측정
